較高的生產(chǎn)率，高的熱效率,較低的運(yùn)行成本,減少維護(hù)保養(yǎng),具有電加熱真空爐的全部優(yōu)點(diǎn)。

    美國科研人員S.J.Sikica 等人于1992年推出了他們研制開發(fā)的燃?xì)庹婵諣t，其中包括675°C燃?xì)庹婵諣t（臥式）和中溫955°C燃?xì)庹婵諣t。同時(shí)研制生產(chǎn)了立式裝載高溫（1010°C）真空淬火爐。對于工作溫度1200°C和更高溫度的燃?xì)庹婵諣t，該集團(tuán)亦在研制開發(fā)中[2]。

    美國氣體研究所和Abar Ipsen Co. 的科研人員和工程師R.K. Clark等人研制開發(fā)了燃?xì)怆x子滲氮爐[3]。工作溫度（315～540）°C， 溫度均勻性DTmax￡4°C，有效加熱區(qū)尺寸（L′W′H）為915mm′610mm′455mm，工作負(fù)載545kg。圖1為燃?xì)怆x子滲氮爐簡圖[3]。

    德國Ipsen公司的S.B. Gupta 論述了燃?xì)庹婵諣t研制開發(fā)技術(shù)，同時(shí)介紹了幾種燃?xì)庹婵諣t設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和近年研制設(shè)計(jì)的新模式[4]。

    燃?xì)庹婵諣t采用天然氣作為能源，熱效率可達(dá)65%，較電能真空爐熱效率提高1倍以上。圖2為電能和天然氣單位能量成本的比較。